日前，筆者在寧波創(chuàng)潤新材料有限公司（以下簡稱寧波創(chuàng)潤）廠房內(nèi)，見到了新鮮出爐的全球第一根單錠直徑達(dá)800毫米、重量超過3噸、高度超過1.2米的低氧超高純鈦錠。“看它通身銀白，表面質(zhì)感光潔，個頭也大，多漂亮??！”創(chuàng)潤新材料董事長兼總經(jīng)理吳景暉介紹該產(chǎn)品時，流露出喜愛與驕傲。

寧波創(chuàng)潤是目前中國唯一（全球僅有4家）的半導(dǎo)體99.999%低氧超高純鈦合格供應(yīng)商，實現(xiàn)了半導(dǎo)體級低氧超高純鈦的國產(chǎn)替代，打破國外企業(yè)在這一領(lǐng)域的壟斷局面。近年來，該公司先后參與或主導(dǎo)了國家02專項（子課題）、國家發(fā)改委產(chǎn)業(yè)振興項目、國家科技中小型企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金等項目，申請專利80多項，獲得授權(quán)專利40余項，每年投入的研發(fā)費用占年產(chǎn)值的15%以上，不斷壯大公司綜合實力。2022年，該公司年產(chǎn)值達(dá)1.5億元，同比增長50%。

超高純鈦錠含氧量低、純度高，目前已廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路用濺射靶材制備，以及科研、核電、醫(yī)療、軍工、航空航天、新能源等市場。“我們之前穩(wěn)定生產(chǎn)的基本是直徑600毫米、重量在1500千克左右的超高純鈦，也是目前市場上較為流通的產(chǎn)品。”吳景暉說。隨著市場對更大錠型的需求，寧波創(chuàng)潤生產(chǎn)的超高純鈦也在不斷挑戰(zhàn)自我，從最初的直徑200毫米，到400毫米、600毫米、800毫米，成功實現(xiàn)了技術(shù)突破，以尖端核心熔煉技術(shù)，為市場提供技術(shù)儲備。

既然是全球首根3噸高純鈦錠，必然意味著研發(fā)過程是漫長且艱難的。“除了需要團(tuán)隊的長期專注與把控，絕不能有一點紕漏以外，對機(jī)器的要求也很高，需要有匹配的功率、精準(zhǔn)的電子束掃描和精確的角度、高要求的冷卻標(biāo)準(zhǔn)，還要達(dá)到整體錠型的光潔。”該公司熔煉工藝技術(shù)總監(jiān)王會云說。為了打破生產(chǎn)機(jī)器被國外企業(yè)壟斷、購買價格高昂的現(xiàn)狀，寧波創(chuàng)潤與北京有色金屬研究總院共同合作，投入4000余萬元自主研發(fā)出了2臺符合更大錠型生產(chǎn)需求的EB爐，并于2022年底完成安裝，今年春節(jié)后就投入到生產(chǎn)準(zhǔn)備中。2月14日，這個4年前就提出的設(shè)想，經(jīng)過不斷鋪墊與積累，終于成功生產(chǎn)出了全球首根3噸超高純鈦單錠。

談及大錠型的優(yōu)勢，吳景暉介紹道，就客戶需求來講，越大的錠型給予后續(xù)加工更多空間，整體的成材率會有很大的補足，產(chǎn)品的品質(zhì)也能得到進(jìn)一步的提高。就企業(yè)自身來講，開爐期間通過技術(shù)更新熔煉出更大錠型，也可以縮短整體的開爐時間，降低成本。“第一根錠就能達(dá)到這個水平，簡直難以想象，這是我們團(tuán)隊全情投入的最好回報。下一步，除了量產(chǎn)這一錠型的超高純鈦外，我們也在考慮研發(fā)直徑達(dá)到1米的錠型，更廣泛地服務(wù)不同市場。”吳景暉說。